真空燒結(jié)爐的抽真空操作　　真空燒結(jié)爐的要點是在真空環(huán)境中對物品進行加熱，真空度的高低對于燒結(jié)的果有非常重要的影響。先來給看看真空燒結(jié)爐怎么抽真空的：　　1、把任何個出氣嘴與真空用軟管連接起來；　　2、對氣氛爐的爐腔進行預抽真空；　　3、通入保護氣體；　　4、再對爐腔進行預抽真空；　　5、如此循環(huán)幾次以達到爐膛內(nèi)氣氛要求?！　∪绻愕恼婵諢Y(jié)爐無法抽成真空的話，那很有可能是以下3個方面出現(xiàn)了問題，趕緊檢查下：　　1、擴散泵的問題　　檢查擴散泵是否完整，有沒有什么破損，如果有的話就需要更換，其次看下油位是否正常，如果是因為缺油的問題導致擴散泵運行不暢的話，及時添加即可?！　?真空泵的問題　　檢查真空泵里面是不是有破損的地方，如果有部件破損的話及時進行更換，如果是小的問題，比如密封問題等小問題的話就自己修下，然后灌入新的機油就可以了?！　?連接系統(tǒng)的問題；　　檢查鏈接系統(tǒng)是否出現(xiàn)問題，是否存在密封不好的情況，如果有及時進行補救?！　“銇碚f造成真空燒結(jié)爐抽真空不利的基本上就是這3種問題，只要逐排查相信定能找到問題的根源。

　　真空燒結(jié)爐常見泄漏點及檢漏方法介紹　　一臺漏率合格的真空燒結(jié)爐，先需要保證爐體內(nèi)的高真空，但作為一個系統(tǒng)，與爐體相連的各部分也都必須無泄漏點才能保證真空的保持。因此，在判定設(shè)備的漏點時需先從真空系統(tǒng)分析其可能存在的漏點，常見位置包括：　　1、機械泵、羅茨泵、擴散泵等真空泵組泄漏；　　2、冷凝器內(nèi)毛細管及毛細管與法蘭連接處泄漏；　　3、真空管道與彎頭連接處及管道之前焊接處泄漏；　　4、真空閥門本身及其與管道連接處泄漏。　　下面我們再來了解檢漏方法　　真空燒結(jié)爐檢漏的方法很多，根據(jù)被檢設(shè)備所處的狀態(tài)可分為氣泡檢漏法、升壓檢漏法和氦質(zhì)譜檢漏法三種?！　?、氣泡檢漏法　　氣泡檢漏法是將空氣壓入被檢部件，然后將其浸入水中或?qū)ζ淇梢杀砻嫱可戏试硪海绻粰z部件上有漏孔，肥皂液就會鼓起氣泡，通過觀察氣泡可以判斷漏孔的存在和位置。這種檢漏方法主要用于被檢真空爐的連接處采用法蘭螺栓連接等可以承受正壓的場合，可用于小型燒結(jié)爐或真空管路的檢漏。如果燒結(jié)爐由于結(jié)構(gòu)復雜、體積較大、結(jié)合面較多，通常在檢漏初期采用氣泡檢漏法，該方法經(jīng)濟實用，能取得較好的檢漏效果?！　?、升壓檢漏法　　升壓檢漏法是當被檢容器內(nèi)真空度達到100Pa以下時，在懷疑有泄漏的地方涂抹丙酮等易揮發(fā)液體，如果有漏孔，丙酮氣體就會通過漏孔進入被檢容器內(nèi)部，可從真空監(jiān)測儀表上顯示壓力是否突然有明顯的升高來判斷該設(shè)備是否有泄漏，并且判定漏孔的存在、位置。在真空燒結(jié)爐檢漏中期，即氣泡檢漏法不能完全找到設(shè)備漏點時，采用升壓檢漏法可進一步檢測出設(shè)備的漏點，效果良好?！　?、氦質(zhì)譜檢漏法　　氦質(zhì)譜檢漏是一種常見也是更可靠的真空爐檢漏方法，它是利用氦質(zhì)譜檢漏儀的磁偏轉(zhuǎn)原理，對于泄漏氣體氦氣反應(yīng)靈敏，從而確定漏點的檢漏方式。這種檢漏方法充分利用了氦氣的強滲透、易流動、易擴散等性能，檢漏過程不易受干擾，不會誤判，反應(yīng)快。在真空燒結(jié)爐檢測時，首先給管路充氣，把檢漏儀按照要求接好，檢漏儀監(jiān)測點盡量接在前級真空管路上；其次是考慮檢漏點的檢漏順序，一般來說，經(jīng)常活動的真空部分是優(yōu)先考慮的，比如真空室門的密封圈等，然后考慮真空系統(tǒng)的靜態(tài)接觸點，如真空規(guī)處、真空管路的外接法蘭處等，之后是氣路系統(tǒng)和水路系統(tǒng)。

　　如何測量石墨化爐的溫度　　石墨化爐的爐芯內(nèi)各種溫度存在較大的差異，但是在工業(yè)生產(chǎn)的時候，每個爐子的測定溫度是不可取的。因此，爐溫主要是通過開始功率以及上升功率及全爐的佳話消耗電量的方式來進行間接的控制。但是有的時候為了試驗性的通電曲線，了解爐芯溫度分布和研究溫度，也是需要進行爐溫的測量的?！　”热缯f石墨化爐爐芯溫度在低溫1600℃以下的時候，可以用熱電偶和自動平衡記錄儀來測定，而1600℃以上的話則可以用光學高溫計或者光電高溫計來進行測量，一般較大的量程可以打動3200℃，相當于翻了一倍。　　一般軟炭(如瀝青焦、石油焦等)經(jīng)過2500--3000℃的高溫石墨化爐熱處理后，會轉(zhuǎn)化為石墨結(jié)構(gòu)，但該過程極其復雜，既涉及石墨微晶在徑/軸向的有序排列、晶界的消失、晶體界面處六圓環(huán)的形成、晶體的生長，還涉及石墨層邊界處不飽和碳原子的催化反應(yīng)、碳原子或氣體分子的熱震動、石墨微晶的各向異性特性、石墨層層間的范德華力等微觀熱力學或動力學行為。　　石墨化爐廠家表示，目前，熱處理溫度與材料石墨微晶參數(shù)之間的內(nèi)在關(guān)系已得到系統(tǒng)研究，而石墨化機理的基礎(chǔ)研究較少。本工作以煤系針狀焦為原料，在分析熱處理溫度對針狀焦微結(jié)構(gòu)的影響規(guī)律的基礎(chǔ)上，深入研究了針狀焦的石墨化機理及其用作鋰離子電池負極材料的電極性能和儲鋰機制。

　　真空燒結(jié)爐脫脂系統(tǒng)的運行原理　　真空燒結(jié)爐在仔細去除熱區(qū)的聚合物粘結(jié)劑殘留后，為了防止粘結(jié)劑在管道、閥門或許泵上堆積，需求繼續(xù)有用地處理和過濾載有粘結(jié)劑的工藝氣體?！　〖偃缫贿B續(xù)生產(chǎn)、堅持低保護成本，就必須考慮經(jīng)過有用的粘結(jié)劑收集體系來保護關(guān)鍵結(jié)構(gòu)部件。氣流和粘結(jié)劑的分離可在=現(xiàn)代真空燒結(jié)爐中得以完成。一個強壯的真空泵效率高的完成了熱區(qū)抽真空，它由一個機械泵支撐的羅茨泵構(gòu)成。高溫和高速率的工藝氣體攜帶著飽和蒸騰的聚合物材料，經(jīng)真空爐殼底部的排氣管抽出。當氣流受冷管壁影響而轉(zhuǎn)向的時候，忽然降速、冷卻，導致部分氣態(tài)粘結(jié)劑瞬間再次冷凝；這樣，高達２０％～２５％的粘結(jié)劑材料現(xiàn)已在管道堆積，終將導致管道堵塞。為了防止人工保護，經(jīng)過電動擠壓機（活塞）來完成必要的清潔工序自動化，將堆積物擠壓出管道。　　經(jīng)過冷卻和加熱順序的不同，粘結(jié)劑冷凝及隨后的去除能夠得到改進。雙壁管道的水冷支撐能進步粘結(jié)劑材料的冷凝效果，但也會導致冷凝液更快地凝固。因而，管道上纏繞的加熱線圈必須在電動擠壓機運作前協(xié)助粘結(jié)劑層再次軟化?！　〗?jīng)過水平的管道后，仍有約７５％的粘結(jié)劑污染物包含在氣流中。為了保護重要和值錢的結(jié)構(gòu)部件不被損壞，確保進一步的清潔程序順利進行，上游銜接有專門的過濾體系（在泵之前）。根據(jù)使用的粘結(jié)劑和個性化程序參數(shù)，差異于傳統(tǒng)的過濾理念可能是有用的，便于清潔的濾芯是過濾體系的作業(yè)原理，它能大大地縮短保護時間。它設(shè)有四個階段的污物截留體系：一階段使用大的表面積捕獲重顆粒、冷凝的揮發(fā)性固體和液體；第二和第三階段經(jīng)過在特定位置裝置的金屬線網(wǎng)篩，逐漸過濾粘結(jié)劑；用于捕獲可能在之前幾個階段遺漏的氣態(tài)微粒。模塊化的體系帶有加熱功用，從而能溶解捕獲的粘結(jié)劑，使之收集在一個能被輕易移除和清潔的桶中?！　〖幢阏婵毡玫奈廴疚ｋU現(xiàn)在現(xiàn)已降到了較低，長期的粘結(jié)劑堆積（如葉片或許殼體）仍會在７天２４ｈ不連續(xù)運行的情況下產(chǎn)生。為了堅持較大的真空性能，以較小空隙裝置的快速旋轉(zhuǎn)部件需求堅持清潔。

　　真空燒結(jié)爐熱區(qū)設(shè)計及氣體管理系統(tǒng)運行要點　　真空燒結(jié)爐在升溫平和均熱處理溫度達到６００°C時，剩余聚合物粘結(jié)劑的除氣進程產(chǎn)生。為了有用運送氣體物質(zhì)到熱區(qū)外，需要在箱體內(nèi)各個點都有一股連續(xù)同質(zhì)的凈化氣流。氣密爐膽（或馬弗）的規(guī)劃可以減小真空燒結(jié)爐的尺寸，實現(xiàn)外部加熱。這種規(guī)劃的主要優(yōu)勢在于，爐子供給了高純氣氛并保證熱氣流均勻地穿過零件。但是，在爐內(nèi)安裝一個冷卻風扇并不是件容易的事情，這會導致較長的生產(chǎn)周期，爐膽也會產(chǎn)生更多的投資、維護和能源成本?！　∑涓准軜?gòu)是一個圓形的碳鋼結(jié)構(gòu)（分配器），它為熱區(qū)、加熱元件和隔熱層供給均勻的支撐。扁平條狀的石墨加熱元件徹底包圍了熱區(qū)的圓柱形部分，并且均勻排列以便為工作區(qū)供給能量傳遞。附加在前后端部的加熱元件進一步提高溫度均勻性至±３°C。保溫層內(nèi)部是多層高性能石墨氈，外表是CFC資料。工藝氣體的輸入獨立可調(diào)且流量可控，這有助于在熱區(qū)內(nèi)部和分配器及爐殼的間隙中堅持一個壓差。均勻的工藝氣體在熱區(qū)內(nèi)外循環(huán)，以保證粘結(jié)劑均勻蒸騰，防止粘結(jié)劑再次沉積，也使熱區(qū)免受污染。

　　真空甩帶爐如何進行抽真空　　真空甩帶爐是用來制備和開發(fā)亞穩(wěn)材料(如非晶態(tài)材料)的設(shè)備，該設(shè)備除了具有感應(yīng)爐的全部特點外，還具有制備塊體金屬非晶及金屬薄帶的功能，適用于各種非晶及微晶材料的研究及實驗工作，廣泛用于新型稀土永磁材料非晶軟磁材料及納米材料科學的開發(fā)與研究。那么，它是如何進行抽真空的?具體內(nèi)容如下：　　1.抽低真空：　　1)將機械泵拉桿逆時針旋轉(zhuǎn)一下輕輕外拉至不能拉動再順時針旋轉(zhuǎn)一下鎖定;　　2)等待真空表指針為“-0.1”后按下復合真空計左表頭的紅色按鈕，等待將真空甩帶爐腔內(nèi)真空抽至低于中間檔3Pa，同時繼續(xù)緊固腔門上的螺絲?！　?.抽高真空：　　1)當腔內(nèi)真空低于3Pa后，將機械泵拉桿推進并順時針旋轉(zhuǎn)鎖定;　　2)將擴散泵閥門開關(guān)手柄逆時針旋轉(zhuǎn)180°至“開”;　　3)當左表頭指針低于0.2Pa后，按下右表頭上的綠色按鈕，并按復位按鈕一次運行高真空表;　　4)根據(jù)情況依次更換量程，查看腔內(nèi)真空度?！　÷尻柊思央姎饪萍脊煞萦邢薰局饕a(chǎn)銷售石墨化爐、真空燒結(jié)爐、氣相沉積爐、真空甩帶爐、真空熔煉爐等產(chǎn)品，公司以全心全意為客戶服務(wù)的理念、合理的價格、優(yōu)質(zhì)的服務(wù)、良好的信譽，贏得了廣大客戶的信賴與好評。我們誠摯期待社會各界朋友的光臨與指導。

　　真空燒結(jié)爐的正確操作方式　　在真空燒結(jié)爐生產(chǎn)車間的工作需要用心去做的，稍大意就會對生命安全造成不可估量的后果，尤其是在工業(yè)生產(chǎn)方面。廠房里面的師傅們在上崗前都是要經(jīng)過培訓并且具有一些經(jīng)驗的，可見生產(chǎn)流程的嚴謹性，那么在真空爐的具體操作上究竟怎么做才能將危險點降到較低呢?　　操作真空爐的師傅們都知道起動真空爐電源，將控制柜開關(guān)設(shè)置在自動控制位置處。將真空燒結(jié)爐工藝規(guī)程的各參數(shù)輸入計算機。按工藝要求選擇好冷卻介質(zhì)和冷卻方式及壓力。按下循環(huán)起動鈕，設(shè)備執(zhí)行程序：抽真空_加熱_冷卻自動完成?！　∮浀靡S時檢查設(shè)備各系統(tǒng)運行是否正常，如有異常及時報告領(lǐng)班處理。在停止真空燒結(jié)爐使用前，應(yīng)恢復爐內(nèi)正常壓力，指示燈正常后打開爐門(蓋)。卸料時，應(yīng)仔細操作，工件和工裝等均不得碰撞爐口。　　洛陽八佳電氣科技股份有限公司出售的石墨化爐、真空燒結(jié)爐、氣相沉積爐、真空甩帶爐、真空熔煉爐等產(chǎn)品質(zhì)量優(yōu)、價格合理，并且我們有完善的售后服務(wù)，保證了您在使用過程中遇到的問題能隨時解決。我們期待著與您的合作!

　　真空燒結(jié)爐的熱處理介紹　　真空熔煉爐的熱處理工藝包括加熱、保溫、冷卻三個過程。但有時只有加熱與冷卻兩個過程。這些過程都是互相銜接，不可間斷?！　〖訜崾菬崽幚碇兄匾ば蛑?。真空熔煉爐對金屬熱處理的加熱方法很多，早期是采用木炭和煤作為熱源，進而使用液體與氣體燃料。同時也是，工藝參數(shù)之一。選擇和控制加熱溫度是保證燒結(jié)爐熱處理質(zhì)量的主要問題。加熱溫度隨被處理的金屬材料和熱處理的目的不同而異，但一般都是加熱到相變溫度以上，以獲得高溫組織?！　〈送?，真空熔煉爐是利用真空感應(yīng)熔煉法，把坩堝封閉在真空室中，利用電磁感應(yīng)產(chǎn)生的渦流作為熱源。在真空或惰性氣體狀態(tài)下把合金(或是導電材料)原料進行脫氣、熔化處理，通過坩堝傾爐系統(tǒng)澆鑄，經(jīng)過中間包在水冷輥上急速凝固后形成薄片，再在水冷盤上進行慢速降溫，在撥鑿的攪拌下，把合金降到30℃左右，形成大不薄厚均勻的合金薄片的一種熔煉設(shè)備?！　≌婵杖蹮挔t用于磁性材料的熔煉及快速冷凝。也是生產(chǎn)合金的專用設(shè)備，是先進鑄片工藝取代傳動鑄錠工藝的理想替代設(shè)備?！　÷尻柊思央姎饪萍脊煞萦邢薰?，是河南省一家研發(fā)、生產(chǎn)真空熔煉爐、真空燒結(jié)爐等燒結(jié)設(shè)備，感應(yīng)加熱電控設(shè)備及大功率半導體元器件的民營股份制企業(yè)。公司擁有一批多年從事研發(fā)、生產(chǎn)、銷售的中青年技術(shù)隊伍。期待與您的合作!

　　真空熔煉爐的煉鋼工藝　　真空熔煉爐以電能為主要能源。電能通過石墨電極與爐料放電拉弧，產(chǎn)生高達2000~6000℃以上的高溫，以電弧輻射、溫度對流和熱傳導的方式將廢鋼原料熔化。在爐料熔化時的大部分時間里，高溫熱源被爐料所包圍，高溫廢氣造成的熱損失相對較少，因此熱效率高于轉(zhuǎn)爐等其他煉鋼設(shè)備。此外，電加熱容易精確地控制爐溫，可以根據(jù)工藝要求在氧化氣氛或還原氣氛、常壓或真空等任何條件下進行加熱操作?！　≌婵杖蹮挔t煉鋼工藝流程短，設(shè)備簡單，操作方便，比較易于控制污染，建設(shè)投資少，占地面積小，不需要像轉(zhuǎn)爐煉鋼那樣須依托于龐雜的煉鐵系統(tǒng)?！　⊥瑫r，真空熔煉爐煉鋼對爐料的適應(yīng)性強，它以廢鋼為主要原料，但同時也能使用鐵水(高爐或化鐵爐鐵水)、海綿鐵(DRI)或熱壓塊(HBI)、生鐵塊等固態(tài)和液態(tài)含鐵原料。　　另外，真空熔煉爐爐渣調(diào)整或更換的操作比較容易，而且能夠在同一套操作系統(tǒng)之中來完成熔化、脫碳、脫磷、去氣、除夾雜、溫度控制、成分調(diào)整(合金化)等各階段的復雜工藝操作。熔煉爐煉鋼可以間斷性生產(chǎn)，在某種范圍內(nèi)可以靈活地調(diào)換生產(chǎn)品種。此外，現(xiàn)代熔煉爐還可以大量使用輔助能源，如噴吹重(輕)油、煤粉、天然氣等。因此，煉鋼工藝適應(yīng)性強，操作靈活，應(yīng)用廣泛。　　后期如有石墨化爐、真空燒結(jié)爐、氣相沉積爐、真空甩帶爐、真空熔煉爐等產(chǎn)品需求，可隨時聯(lián)系洛陽八佳電氣科技股份有限公司，公司將以真誠的態(tài)度為您服務(wù)。

　　真空燒結(jié)爐使用時遇到這三種情況應(yīng)立刻采取應(yīng)急措施　　真空燒結(jié)爐主要用于半導體元器材及電力整流器材的燒結(jié)工藝，可進行真空燒結(jié)，氣體保護燒結(jié)及慣例燒結(jié)，是半導體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備，它規(guī)劃構(gòu)思新穎，操作便利，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺設(shè)備上可完結(jié)多個工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。真空燒結(jié)爐使用時遇到這三種情況應(yīng)立刻采取應(yīng)急措施：　　一、停電　　1、停電時，假如斷水，應(yīng)立即接通備用的冷卻水，接通水源?！　?、假如在非升溫、加熱和冷卻時，能夠趕快康復時，重新啟動設(shè)備，繼續(xù)運轉(zhuǎn)如需求較長時刻，則將設(shè)備保持原狀?！　?、假如正在加熱和冷卻時，能夠趕快康復時，重新啟動設(shè)備，假如需求較長時刻時，則保持原狀，讓設(shè)備自然冷卻下來?！　《?、加熱電源掉電　　1、水壓低，當水壓低于0.15MPa，壓力表報警?！　?、接地毛病?！　?、真空放電，水冷電極接頭與加熱器銜接處必須銜接牢固，與反射屏絕緣要好。　　4、若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(此真空度容易發(fā)生放電)。電源呈現(xiàn)毛病，掉電的原因能夠以為因為電介質(zhì)擊穿而引起的放電?！　∪?、充氣氣體停止　　1、抽真空開端前，氣體充入時刻長或者無法充入時，請承認氣體管路是否被堵塞。　　2、如氣體管路沒問題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作，為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設(shè)備要悉數(shù)停止后再進行檢查?！　?、向真空室內(nèi)充氣不能停止的情況下，泄壓閥動作如泄壓閥動作時，要封閉氣體供應(yīng)閥及配管在內(nèi)的一切氣體系統(tǒng)。　　4、承認氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會影響制品質(zhì)量。

　　真空熔煉爐怎么才能操控好　　真空熔煉爐使用時怎么才能操控好，發(fā)揮其效果，真空熔煉爐廠家八佳建議你注意好以下幾點就行：　　一、預合金化　　向鋼液參加一種或幾種合金元素，使其到達成品鋼成分規(guī)格要求的操作過程稱為合金化。多數(shù)情況下脫氧和合金化是一起進行的，參加鋼中的脫氧劑一部分消耗于鋼的脫氧，轉(zhuǎn)化為脫氧產(chǎn)品排出;另一部則為鋼水所吸收，起合金化效果。在脫氧操作未悉數(shù)完成前，與脫氧劑一起參加的合金被鋼水吸收所起到的合金化效果稱為預合金化?！　《⒊煞植倏亍　”ＷC成品鋼成分悉數(shù)契合標準要求的操作。成分操控貫穿于從配料到出鋼的各個環(huán)節(jié)，但重要的是合金化時對合金元素成分的操控。對優(yōu)質(zhì)鋼往往要求把成分精確地操控在一個狹窄的范圍內(nèi);一般在不影響鋼性能的前提下，按中、下限操控?！　∪?、熔化期　　煉鋼的熔化期主要是對平爐和電爐煉鋼而言。電弧爐煉鋼從通電開端到爐料悉數(shù)熔清停止、小型真空熔煉爐煉鋼從兌完鐵水到爐料悉數(shù)化完停止都稱熔化期。熔化期的使命是盡快將爐料熔化及升溫，并造好熔化期的爐渣?！　∷?、復原期　　普通功率電弧爐煉鋼操作中，一般把氧化晚期扒渣完畢到出鋼這段時間稱為復原期。其主要使命是造復原渣進行分散、脫氧、脫硫、操控化學成分和調(diào)整溫度。

　　真空燒結(jié)爐的常見故障應(yīng)急方案大全：　　一、冷卻水異?！　?、確認加熱電源已停止。　　2、爐外發(fā)生漏水，冷卻水量異常時，應(yīng)盡快采取應(yīng)急措施，如能保證水量，請繼續(xù)保持真空，如不能采取應(yīng)急措施，保持原狀，確認設(shè)備冷卻下來?！　?、冷卻水發(fā)生異常時，設(shè)備處于停止狀態(tài)，馬上接通緊急用冷卻水。　　4、在高溫（超過200℃即視為高溫）時，如果冷卻水停止了，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。　　二、壓縮空氣的停止　　1、壓縮空氣異常報警時，設(shè)備處于停止狀態(tài)，應(yīng)盡快到備用的壓縮機房，讓其恢復工作?！　?、真空中如壓縮空氣異常報警，且恢復需要較長時間時，則終止真空，讓設(shè)備停下來?！　∪?、突然停電　　1、停電時，如果斷水，應(yīng)立即接通備用的冷卻水，接通水源。　　2、如果在非升溫、加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設(shè)備，繼續(xù)運轉(zhuǎn)如需要較長時間，則將設(shè)備保持原狀?！　?、如果正在加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設(shè)備，如果需要較長時間時，則保持原狀，讓設(shè)備自然冷卻下來。　　四、加熱電源掉電　　1、水壓低，當水壓低于0.15MPa，壓力表報警?！　?、接地故障。　　3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固，與反射屏絕緣要好?！　?、若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時（此真空度容易發(fā)生放電）。電源出現(xiàn)故障，掉電的原因可以認為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電?！　∥?、充氣氣體（氬氣或氮氣）停止　　1、抽真空開始前，氣體充入時間長或者無法充入時，請確認氣體管路是否被堵塞?！　?、如氣體管路沒問題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作，為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設(shè)備要全部停止后再進行檢查?！　?、向真空室內(nèi)充氣不能停止的情況下，泄壓閥動作如泄壓閥動作時，要關(guān)閉氣體供給閥及配管在內(nèi)的所有氣體系統(tǒng)?！　?、確認氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會影響制品質(zhì)量。　　六、真空室壓力惡化　　1、真空排氣時間比通常長時，應(yīng)把設(shè)備停下來進行檢查，根據(jù)真空室內(nèi)構(gòu)造物不同狀態(tài)下放氣的影響，也有導致壓力升高的情況?！　?、通過壓力上升測試或者用氦氣檢漏來確認是漏氣還有放氣的影響。